鹏城半导体技术（深圳）有限公司

鹏城半导体技术（深圳）有限公司（简称：鹏城半导体），由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术前沿与市场前沿的交叉点，寻求创新引领与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。


公司人才团队知识结构完整，有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队；还有来自工业界的高级装备设计师团队，他们具有公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具备先进的半导体研发设备平台和检测设备平台，可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市，具备半导体装备的研发、生产、调试以及半导体材料与器件的中试、生产、销售的能力。


团队在第三代半导体装备及工艺方面的技术积累


设计了中试型的全自动化监控的MOCVD，用于外延GaN和ZnO。


设计制造了第一台完全自主知识产权的分子束外延设备，用于外延光电半导体材料。


设计设计超高温CVD 和MBE。


2007年与兰州大学物理学院合作


2015年中科院金属研究所沈阳材料科学国家（联合）实验室合作


2017年


-开始研制PVD方法外延GaN的工艺和装备，目前正在进行设备工艺验证。


设计制造了大型热丝CVD金刚石薄膜的生产... [详细介绍]