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高真空电子束蒸发镀膜机	高真空电阻热蒸发镀膜机	MBE分子束外延设备	高真空超洁净气氛炉 HITSemi-VAF-1500
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小型HFCVD 热丝化学气相沉积设备	小型PECVD等离子体增强化学气相沉积设备	LPCVD设备 HITSemi-LPCVD-200	小型单管LPCVD 低压化学气相沉积设备