掌控每一微米——东莞路登科技系列阻碍剂均匀性测试工装
在半导体制造与精密涂层领域,阻碍剂均匀性直接决定产品良率。东莞路登科技自主研发的第三代测试工装系统,以±0.5μm的检测精度和智能分析算法,重新定义行业标准。
核心优势
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多维度检测:采用高分辨率光学传感器与AI图像处理技术,可同步检测厚度、边缘覆盖率等6项关键参数
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智能校准系统:内置温度补偿模块,消除环境波动干扰,重复测试误差<1%
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极简操作:15寸触控屏一键生成3D分布图,支持MES系统无缝对接
行业解决方案
已成功应用于12家晶圆厂的生产线升级案例,帮助客户实现:
1、产品不良率下降37%
2、检测效率提升4倍
3、年节省质检成本超200万元