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高纯氩是一种纯度极高的氩气（Ar），通常纯度在99.999%（5N）及以上，广泛应用于对气体纯度要求严格的领域。以下是关于高纯氩的详细介绍：
1. 基本性质
化学符号：Ar
原子序数：18
状态：无色、无味、无毒的惰性气体。
密度：比空气重（密度约1.784 g/L，标准条件下）。
沸点：-185.8°C（87.3 K）。
化学惰性：几乎不与其他物质反应，稳定性极强。
2. 纯度等级
普通氩气：纯度99.99%（4N），用于一般工业用途。
高纯氩：纯度≥99.999%（5N），杂质（如O₂、N₂、H₂O、CO₂等）含量极低。
超高纯氩：纯度≥99.9999%（6N），用于半导体、精密分析等。
3. 生产方法
空气分离法：通过低温精馏液态空气提取氩气，再经吸附、催化脱氧等工艺提纯。
纯化技术：采用分子筛、钯催化剂、低温吸附等方法进一步去除杂质。
4. 主要应用领域
半导体制造：用于晶圆加工、刻蚀、化学气相沉积（CVD）等，防止材料氧化。
光伏产业：硅片生产中的保护气。
分析仪器：作为ICP-MS（电感耦合等离子体质谱）、GC（气相色谱）的载气。
焊接保护：TIG焊、MIG焊中防止金属熔池氧化（尤其不锈钢、铝合金）。
照明工业：填充节能灯、霓虹灯等。
科研领域：超导体研究、激光技术等。
5. 储存与运输
储存方式：高压钢瓶（通常为灰色，标有“氩气”字样），常温下保存。
运输规范：需符合危险化学品运输标准，避免撞击、高温。
6. 安全注意事项
窒息风险：高浓度氩气会置换空气，导致缺氧，需在通风环境中使用。
压力风险：高压钢瓶需防泄漏，避免直接接触阀门。
惰性特性：虽不燃不爆，但可能加剧其他物质的燃烧（如镁、钛等）。